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超純水設備

我公司電子級超純水設備出水水質完全符合美國ASTM純水水質標準、我國電子工業部電子級水質技術標準(18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm五級標準)、我國電子工業部高純水水質試行標準、美國半導體工業用純水指標、日本集成電路水質標準、國內外大規模集成電路水質標準。

關鍵詞:

環保設備 | 新型環保藥劑

所屬分類:

超純水設備

產品咨詢:

產品描述

  電子半導體行業水質標準:

  我公司電子級超純水設備出水水質完全符合美國ASTM純水水質標準、我國電子工業部電子級水質技術標準(18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm五級標準)、我國電子工業部高純水水質試行標準、美國半導體工業用純水指標、日本集成電路水質標準、國內外大規模集成電路水質標準。

  電子工業對水質的要求:

  微電子工業、大規模、超大規模集成電路需用大量的高純水、超純水清洗半成品、成品。集成電路的集成度越高,對水質的要求也越高,這也對超純水處理工藝及產品的簡易性、自動化程度、生產的連續性、可持續性等提出了更加嚴格的要求。

  應用場合:

  ☆半導體材料、器件、印刷電路板和集成電路;

  ☆超純材料和超純化學試劑;

  ☆實驗室和中試車間;

  ☆汽車、家電表面拋光處理;

  ☆光電產品;

  ☆其他高科技精微產品;

  典型電子級超純水制備工藝:

  ☆預處理----反滲透----水箱----陽床----陰床----混合床----純水箱----純水泵----紫外線殺菌器----精制混床----微孔膜過濾器----用水對象

  ☆預處理----一級反滲透----pH調節裝置----中間水箱----二級反滲透----純水箱----純水泵----紫外線殺菌器----微孔膜過濾器----用水對象

  ☆預處理----二級反滲透----中間水箱----水泵----EDI裝置----純水箱----純水泵----紫外線殺菌器----微孔膜過濾器----用水對象

  新工藝

  ☆預處理----二級反滲透----中間水箱----水泵----EDI裝置----純水箱----純水泵----紫外線殺菌器----拋光混床----TOC分解器----微孔膜過濾器----用水對象

  部分產品規格:

型號

產水量(m³/h)

管徑(mm)

工作壓力(MPa)

材質

工作方式

AMDZHY-1

1

DN25

≤1.6

不銹鋼/碳鋼

全自動/半自動

AMDZHY-5

5

DN32

≤1.6

不銹鋼/碳鋼

全自動/半自動

AMDZHY-20

20

DN50

≤1.6

不銹鋼/碳鋼

全自動/半自動

AMDZHY-50

50

DN80

≤1.6

不銹鋼/碳鋼

全自動/半自動

AMDZHY-60

60

DN100

≤1.6

不銹鋼/碳鋼

全自動/半自動

AMDZHY-80

80

DN125

≤1.6

不銹鋼/碳鋼

全自動/半自動

AMDZHY-100

100

DN150

≤1.6

不銹鋼/碳鋼

全自動/半自動

AMDZHY-120

120

DN200

≤1.6

不銹鋼/碳鋼

全自動/半自動

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